一、仪器型号：JSM-7610F Plus

二、生产厂家： 日本电子

三、仪器价格：280万元

四、技术指标：

●  二次电子像分辨率：0.8 nm（加速电压 15 kV），1.0 nm（加速电压 1 kV ），分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA )

●  倍率：Direct magnification:  x25 to 1,000,000（120 x 90 mm），Display magnification:  x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels）

●  加速电压：0.1 ～ 30 kV

●  探针电流：数 pA ～ 200 nA

●  电子枪：浸没式肖特基场发射电子枪

●  透镜系统：聚光镜（CL）、  最佳光阑角控制镜（ACL）、  半浸没式物镜（OL）

●  样品台：全对中测角样品台、5轴马达驱动

●  电子检测器系列：高位检测器、　r‐过滤器　内置、  低位检测器

●  自动功能：自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节

●  图像观察用：屏幕尺寸 23英寸宽屏

●  液晶显示器：最大分辨率　1,920 × 1,080像素

●  抽真空系统：电子枪室／中间室　SIP 离子泵，样品室　TMP 分子泵

五、应用领域：

扫描电子显微镜主要用于观察固体厚试样的表面形貌，具有很高的分辨力和连续可调的放大倍数，图像具有很强的立体感。扫描电镜能够与电子能谱仪、波谱仪、电子背散射衍射仪相结合，构成电子微探针，用于物质化学成分和物相分析。因此，扫描电子显微镜在冶金、地质、矿物、半导体、医学、生物学、材料学等领域得到了非常广泛的应用。