仪器型号：POLOS ACD 200-HD-NPP

生产厂家：德国SPS

仪器价格：33.1万

技术指标：

l 高性能数显控制器，非常方便设定处理速度和加速度程序段，（1-3000转/分钟，重复性：±0.5转/分钟）可设置顺序循环控制；

l 透明ECTFE材质圆顶盖板，便于实时进行可视化操作；

l 可视化操作模型（化学试剂，传感器所见即所得的操作界面）；故障报警装置（可形象显明故障发生位置）；加速度的最小分辨率为1 RPM/S；宽广的速度设定范围（1~12000RPM）；

l 可调节的氮气扩散处理装置；可调降流式排气及排水装置高灵敏安全联锁装置：（当门开启时，运转中的马达快速制动；当腔体未封闭时，系统自动操作保护；在系统运行时，处理腔体自动锁死，保障实验环境绝对安全。）

l 防腐构造：（没有任何裸露的金属部位，能抵抗强酸物质的腐蚀）

主要功能：可以完成蚀刻，显影，清洗和涂膜等制程；在以溶剂和水为基础的处理过程：蚀刻-清洗-干燥 ，显影-冲洗-干燥，以及利用溶剂和水的清洗。其旋转涂敷机部分，具有多种板载滴胶阀的零孔隙度特富龙流体路径等特点，干净的ECTFE圆顶盖使用户能够实时观察过程的安全运行，记事是每一单步处理过程模式。

应用领域：一般应用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统。